【48812】晶合集成取得发明专利授权：“晶圆金属元素剖析办法及剖析体系”

  证券之星音讯，依据企查查多个方面数据显现晶合集成（688249）新取得一项发明专利授权，专利名为“晶圆金属元素剖析办法及剖析体系”，专利申请号为CN1.9，授权日为2024年4月19日。

  专利摘要：本发明供给一种晶圆金属元素剖析办法及剖析体系，晶圆金属元素剖析办法有：刻蚀晶圆外表的硅化物；经过接受台接受所述晶圆；经过旋转轴驱动所述接受台滚动；经过扫描管于所述晶圆外表牵引提取液运动，以搜集金属离子溶液；改动所述旋转轴于所述接受台上的方位，以使得所述扫描管进行不一样的区域扫描；以及进行所述提取液的金属元素浓度检测，以承认所述晶圆污染源方位。本发明可精确搜集缺点区域金属污染的液滴，完成精准检测浓度，确认散布规模。

  今年以来晶合集成新取得专利授权101个，较去年同期增加了129.55%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研制方面投入了10.58亿元，同比增23.39%。

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